氣冷羅茨真空泵的概念：氣冷羅茨真空泵（簡稱羅茨泵）利用兩個8字形轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生吸排氣效果。由于在低壓范圍內(nèi)工作，氣體分子自由度大，氣體通過小間隙阻力大，可獲得較高的壓縮比，可用作增壓真空泵。

　　羅茨式真空泵根據(jù)泵體結(jié)構(gòu)可分為兩類：一類為普通型，另一類為直排大氣型。除結(jié)構(gòu)外，主要區(qū)別是普通羅茨泵不能單獨將氣體直接排入大氣，需要與前真空泵串聯(lián)使用，通過前真空泵將氣體排入大氣。后者可以直接將被抽氣體排入大氣。普通羅茨泵可分為普通泵和帶旁通閥泵。當(dāng)壓差超過各規(guī)格泵的規(guī)定值時，旁通閥自動打開，泵出口的氣體通過旁通閥返回進口，使泵安全運行。由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子受力面積大，在壓差大的情況下運行，泵的負荷會變得很大。

　　氣冷羅茨真空泵的工作原理：工作時，泵送的氣體從進氣口進入轉(zhuǎn)子和泵體之間。此時，一個轉(zhuǎn)子和泵體將氣體與進氣口分開，分離的氣體沒有壓縮和膨脹，但當(dāng)轉(zhuǎn)子的峰值轉(zhuǎn)向排氣口邊緣時，由于部分的壓力低于排氣口。為了使相連體積內(nèi)的壓力均勻，氣體會從排氣口擴散，其擴散方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向相反。當(dāng)轉(zhuǎn)子再次旋轉(zhuǎn)時，將轉(zhuǎn)子再次旋轉(zhuǎn)。氣體壓縮到排氣口排出。此時，轉(zhuǎn)子的另一側(cè)與進氣口的連接部分吸入氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子不斷旋轉(zhuǎn)時，上述抽氣過程不斷排出氣體。這個工作過程相當(dāng)于將轉(zhuǎn)子空間從小值增加到大值，然后從大值減少到小值。這就是氣冷羅茨真空泵的體積原理。

　　氣冷羅茨真空泵在入口壓力很低的情況下小工作時，由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速很高，轉(zhuǎn)子表面的線速接近分子的熱運動速度。此時，與轉(zhuǎn)子碰撞的氣體分子被轉(zhuǎn)子帶到高壓排氣口，然后被排除在外。這是氣冷羅茨真空泵的分子作用原理。

　　羅茨泵的特點是：

　　1.轉(zhuǎn)子與泵腔、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，不接觸，不需要用油潤滑。

　　2.轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，能提高轉(zhuǎn)速，從而產(chǎn)生結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵。

　　3.泵工作時振動小，容積大。

　　4.泵腔內(nèi)沒有機械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此不需要排氣閥。因此，可以去除可凝性蒸汽。

　　5.啟動快，能在短時間內(nèi)達到極限真空。功率小，運行維護成本低。

　　6.在很寬的壓力范圍內(nèi)抽速大，能迅速排出突然排出的氣體，彌補了擴散泵和油封機械泵抽速很小的缺陷。因此，氣冷羅茨真空泵適合增壓泵，缺點是泵的轉(zhuǎn)子很難制造，很難去除氫氣效果不如油增壓泵高。